某半导体设备集成电路芯片制作厂在晶圆制作加工方式中，适用硅烷去硅本质植物生长，排放洗衣塔会产生高溶度含硅生活污水。生活污水含有pH波动性大（2-11）、硅含量的高的特殊性，过去的处理的方式易出显硅垢闭塞一些问题。 废污水材质及因素 废水处理方法注意成分表为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂溶度达1000-1500mg/L 磷酸/氢腐蚀钠 ：清洗塔酸碱性清洗液残余 颗料硅 ：纳米级级SiO₂溶液 痕量砷 ：配料其它杂物携带 治理工序的流程 革新采取"多级采和+膜过滤系统+蒸发器晶体"的工艺： 四级结合 ：用CaO调理pH至4-5，转化成硅酸钙积淀，硅取除率60%。 五级中合 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进步悠长岁月中剩的硅，并接用镁剂除砷。 反渗透膜控制系统 ：0.02μm淘瓷膜过滤装置纳米技术级硅颗粒肥料，通量安全稳定在80LMH。 MVR空调蒸发器器 ：提液高盐废污水，析出出Na₂SO₄副软件，水回收利用率超90%。 最终能够目的 总硅从1500mg/L降到5mg/L左右 砷水平从0.8mg/L减少为0.01mg/L 体系无积灰启动不低于2年 每次收集浓盐酸钠多晶体约800吨