该厂为84英寸晶圆带来线配合的超蒸馏水操作系统，每一刻带来含硅废液150吨。废液中虽无血本属，但硅纯度高易结渣，且阻值率需提高18MΩ·cm才会造纸废水清理。已有清工院艺不可拥有新修订的《電子鑫霖环保水环境废水废气废水减排标准》（GB39731-2020）特别废气减排允许值。 废水处理方法营养成分特性 关键影响物 ：固体硅（200-300mg/L）、顆粒硅（孔径0.1-1μm） 层次性符合要求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水体属性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅单质形态特征比较复杂 进行处理新工艺具体流程 转型升级运用"梯级膜剥离+电去阴阳离子"搭档工序： 微滤预治理 ：1μm瓷器膜拦住大粉末硅，通量保证80LMH 铁离子互转树酯 ：D201大孔树脂材料选取性过滤硅酸氧分子 2级RO模式 ：一、段利用率60%，二是段通过高脱硼膜构件 EDI电去亚铁离子 ：感应电流孔隙率2A/m²，不断除去残渣铁离子 太阳光的紫外线臭氧消毒 ：254nm太阳光的紫外线，线极量40mJ/cm² 新技术难点 开拓专业阻硅剂（可挥发胺类包覆物），推迟膜的污染频次3倍 EDI控制模块转型升级流道设计方案，硅除去率改善至99.8% 在线播放硅解析仪（侧量面积0.1-500μg/L）达到靶向把握 正常运行取得的成绩 经然后方测试： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼占比从8μg/L低于0.3μg/L 操作系统回收公司率从原40%提升自己至68% 膜更改期限延伸至5年，年加载成本投入有效降低35%